电子厂超纯水设备是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备;是电子厂生产用超纯水制备不可缺少的装置.

1、离子交换方式
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、双级反渗透方式
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→二级反渗透→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、EDI方式
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透主机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

电子行业是使用超纯水最多的工业领域之一，电子工厂在生产及清洗过程中使用超纯水，超纯水水质是影响产品品质的关键。但是超纯水系统在使用过程中会由于设备老化、生产线扩大超纯水跟不上等因素需要对超纯水系统进行维修升级。